二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9216650 待售

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ID: 9216650
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 1994
Particle counter, 4"-8" Non-patterned surface inspection system OS: Windows Defect sensitivity (PSL STD): 0.1 Micron Haze sensitivity: 0.02 ppm Haze resolution: 0.002 ppm Accuracy: 1% XY Co-ordinates Lock down accessories KLA / TENCOR Blower assembly Manuals included Power requirements: 208 V, 60 Hz, 17 A 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種最先進的晶圓測試和計量設備,旨在對各種基板上的復雜表面和結構進行高精度測量。該系統集成了專利計量體系結構、先進的自動化軟件和專門的光學,提供了前所未有的測量晶圓結構的能力。KLA 6200 Surfscan配備了集成式MultiGene™光學單元,可同時高速精確掃描整個晶片,適合高通量應用。機器包括可見光和紅外線感光系統,因此可以精確測量不透明、透明和非反射表面。TENCOR 6200 Surfscan利用獲得專利的Encore™工作流自動化軟件提供完全自動化的基板加載、掃描和分析。用戶友好的軟件還支持腳本,允許用戶開發自己的自定義測試和計量算法。軟件還支持自動缺陷檢測和傳感,可用於使用任意、用戶定義的標準檢測和分類缺陷。PROMETRIX 6200 Surfscan還具有自動晶圓分選工具,可用於使用資產的集成分類算法分離幹凈且有缺陷的晶圓結構。6200 Surfscan將可用的最高分辨率成像與旨在確保計量分析精度和準確性的硬件和軟件相結合。該型號配備了集成的10K像素分辨率傳感器,能夠測量低至1埃的表面粗糙度。此外,該設備是自動化的,速度極快,並支持各種樣本量,使得它極其通用。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan除了其獨特的功能外,還具有高度的可靠性和經濟性。該系統設計為無維護,使其能夠在最短的停機時間內始終如一地達到或超過性能規格。此外,該單位的價格具有競爭力,因此在工業和研究應用方面具有成本效益。總體而言,KLA 6200 Surfscan機器是一種用途廣泛且經濟高效的晶圓測試和計量解決方案,適用於各種應用。TENCOR 6200 Surfscan具備全面的自動化功能、高精度分辨率、高效的工作流自動化以及具有競爭力的價格,是滿足苛刻的工業和研究環境的理想工具。
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