二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9230009 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量設備,專為需要對半導體和光伏晶圓進行高通量表面分析的生產環境而設計。系統使用非接觸橢圓偏振法測量樣品的光學性質。它可以用復雜的掃描軟件來確定半導體晶片的平坦度、反射率、應力剖面和表面粗糙度。該單元由三個組件組成：掃描頭、測量室和計算節點。掃描頭包含一個基於激光的傳感器，可安裝在測量室中，以提供快速、高效的樣品測量。測量室是一個密封和溫度控制的環境，可以配備最新的自動化技術，以允許更快的樣品測量，同時消除手動交接。計算節點是一種用於存儲結果、配置掃描和指導自動測量過程的計算機。該機配備了強大的分析軟件，用於高級分析和報告生成。該工具具有自動雙向縫合功能,可確保在整個掃描平面上進行完整的分析,從而實現大型晶圓級分析。KLA 6200 Surfscan資產提供多種測量技術，包括波長掃描橢圓偏振（WSE）、臨界尺寸（CD）、波前誤差（WFE）、表面表征和無損檢測（NDT）。WSE根據波長測量樣品的光學性質變化。CD用於測量樣品上的特征,WFE用於跟蹤表面平整度的變化。表面表征用於確定樣品的物理特性,如孔隙度、晶粒大小和組成。最後，NDT用於檢測缺陷，並用於測量樣品的電性能。總體而言,TENCOR 6200 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量模型,它為需要高通量表面分析的生產和研究環境提供精確的測量能力。設備配備了先進的掃描軟件、自動化的樣品處理以及用於高級分析和報告生成的自動化分析軟件。該系統提供一系列測量技術，並提供光學特性測量、表面表征和無損檢測功能。