二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9243759 待售

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ID: 9243759
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備,旨在為表面缺陷分析和臨界尺寸測量提供高通量和可靠的應用。KLA 6200 Surfscan提供靈活的設計,可容納多種晶片,包括多級互連、低k和超低k材料、ultrathin和3D設備。該系統采用先進的光學技術對表面汙染物進行檢查,並對過程控制應用進行關鍵尺寸和輪廓數據管理。它的先進透鏡被設計成可以捕捉到小到微米大小的缺陷圖像,以及提供均勻的測試晶片照明。其掃描技術包括寬視野、增強的聚焦深度和超高速掃描,允許快速準確的結果。該單元還采用了先進的模對數據庫流程,確保保存收集到的數據並對其進行映射,以便進行分析和進一步分析。TENCOR 6200 Surfscan提供了卓越的數據精度,並提供了復雜的計量功能,如表面粗糙度測量、粗糙度功率譜、缺陷位置和特征、幾何精度以及非接觸表面輪廓測量。它還支持具有邊緣可檢測性的3D缺陷成像,使最終用戶能夠進行模內檢查。它還包括先進的晶圓檢查選項,如模模和全晶圓比較,允許用戶優化計量過程。該計算機包括一個基於Web的用戶界面,可輕松查看和管理所有流程數據,以實現簡化控制。用戶界面專為易於使用而設計,並提供模塊化設計,允許用戶根據自己的需要對其進行自定義。它還包括全面的數據導出功能,使用戶能夠方便地獲取信息。總體而言,PROMETRIX 6200 Surfscan在晶圓測試和計量行業中提供了卓越、準確和可靠的結果。6200 Surfscan憑借其先進的光學和掃描技術、高吞吐量和數據準確性,為用戶提供了極致的晶圓測試和計量解決方案。
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