二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9248731 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是為大體積半導體制造而設計的晶圓測試和計量設備。它是一種全自動的高速晶圓掃描儀，每小時可處理多達100個6英寸晶圓。KLA 6200 Surfscan系統結合了先進的晶圓掃描、非接觸缺陷檢測、自動對焦和先進的2D/3D計量技術。掃描儀利用行業標準的工藝計量技術，從眾多晶圓表面收集數據。2D/3D光學計量技術允許提取整個晶圓表面的詳細地形測量，而非接觸式檢測單元可以準確檢測和分類電氣和物理缺陷。TENCOR 6200 Surfscan機器還提供數據采集、存儲、分析和後處理應用。這允許快速可視化表面測量,以及報告各種類型的缺陷。此外,該工具還自動維護資產設置信息並提供可審查的標準操作程序。該模型具有全面、易於使用的操作員界面,能夠快速高效地設置樣本和獲取數據。該設備還有一個內置的質量保證系統，它提供了可追蹤性，並允許在收到數據時嚴格審查和分析數據。PROMETRIX 6200 Surfscan設備旨在幫助半導體制造商滿足最苛刻的工藝控制要求。機器的靈活性和先進的功能使其成為將最高水平的晶圓質量和過程控制帶入半導體行業的理想工具。