二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9249954 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，提供高分辨率成像和半導體晶圓物理和幾何特性的自動測量。該系統利用先進的光學和成像技術獲得晶圓表面精確測量的地形圖像。它既能測量納米尺度特征，又能測量微觀尺度特征，其廣泛的測量能力在晶圓制造過程中被用來幫助查明影響產量的工藝和表面問題。KLA 6200 Surfscan單元具有自動化的示例加載和卸載功能,可進行多階段校正以提高圖像清晰度,以及易於使用的圖形用戶界面。它還提供了大面積的廣域成像、可量化的測量、設備對設備的均勻性以及數據的可追蹤性。TENCOR 6200 Surfscan設計用於小至100 nm螺距納米結構的設備,並具有優化的光學測量引擎,可測量多達1000微米寬的磁場。其動態表面成像和測量提供了高度精確的結果，可供研究人員和工程師用來預測晶圓性能和確定工藝問題。該機器還具有計量學工作臺,可實現快速、可重復和具有統計意義的測量。此計量工作臺包括一系列用戶可選擇的測量功能,如臨界尺寸（CD）測量、線緣粗糙度（LER）、局部邊緣粗糙度（LER）、用於邊緣掃描的360度照明和輪廓測量。PROMETRIX 6200 Surfscan工具還具有自動檢查功能,可以快速識別過程問題和不一致之處。自動檢查應用一系列算法來檢測表面缺陷,如微孔、氣泡和條紋。它還提供了一個高級缺陷查看套件,允許用戶在現場可視化缺陷。6200 Surfscan資產是一種可靠且用途廣泛的機械,提供了廣泛的功能來改進晶圓測試和計量操作。其自動化晶片處理、高分辨率成像和全面的測量功能使晶片制造過程的監控得到改進,有助於提高產量和提高生產吞吐量。