二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9262110 待售

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ID: 9262110
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款晶圓測試和計量設備,旨在滿足半導體制造商的需求。該系統提供了先進的功能和更高的吞吐量,以便進行高效的晶圓測試和分析。該單元由高分辨率Profiler成像機和輪廓掃描1250坐標測量站組成。剖面儀工具能夠測量單面和雙面晶片上的特征,分辨率高達0.25微米。輪廓掃描1250站能夠測量到高達1微米的分辨率。該資產具有先進的表面特征識別和高速數據采集功能。與傳統的晶圓檢測技術相比,它能夠更快、更精確地測量表面特征。該模型還利用多傳感器和自動化數據分析提高了晶圓的吞吐量和檢測速度。它還具有解釋特征趨勢的能力,以便確定制造過程中可能發生異常的位置。該設備采用Varian Well Connected等各種定制分析工具,用於同時分析同一晶圓上的閘門、活動區域和井邊界。該系統還配備了晶圓映射功能,以跟蹤過程引起的設備結構變化,以及自動缺陷檢測。該設備支持手動和自動操作,以獲得最大的靈活性。它有一個直觀的用戶界面,允許用戶快速輕松地執行各種分析任務。此外,該機器還支持與其他過程控制系統集成,以確保連續運行。KLA 6200 Surfscan是需要精確晶圓測試和分析而又不影響速度或吞吐量的半導體制造商的理想工具。憑借其先進的功能識別、高速數據采集、過程監控和自動缺陷檢測,該工具提供了經濟高效的解決方案,可提高產量並提高生產效率。
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