二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9272264 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是用於研究和生產環境的最先進的晶圓測試和計量設備。它能夠快速準確地測量半導體材料的電阻率、介電常數、電容和泄漏參數等電性能。該系統旨在支持各種工藝節點和最新技術,包括鑄造、晶圓廠和工程庫。KLA 6200 Surfscan具有強大的高精度5百萬像素CCD成像傳感器,由於具有高分辨率圖像處理算法,因此能夠以5微米分辨率捕獲晶圓特征的圖像。大幅面9.1英寸視圖的設計支持高研究和生產吞吐量。該單元不僅檢測晶圓性能的缺陷和過程引起的變化，還有助於識別潛在的隨機和系統的產品產量損失。TENCOR 6200 Surfscan配備了高級流程表征和數據處理功能,包括內置的流程配方和存儲的測量數據數據庫。該機的高級計量套件還包括一個3 D測量平臺，具有散射測量、表面粗糙度和薄膜厚度等多種工藝表征工具，以及應力分析、邊緣和輪廓提升等更先進的技術。PROMETRIX 6200 Surfscan支持從4「到12」的各種晶圓大小,具體取決於具體配置。可選功能包括自動晶片處理、吞吐量優化以及用於檢測小缺陷的自動光學檢查工具。資產還配備了一個直觀的用戶界面和一個全面的報告軟件，用於監測流程指標和獲取有關缺陷、變化和批次之間變化的數據。6200 Surfscan是研究和生產環境中高精度晶圓測試和計量的經濟高效的解決方案。憑借其先進的計量功能和直觀的設計，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan提供了一種高效、準確的方法來獲取最大限度的晶圓測試和計量。