二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9299889 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備。它能夠對直徑6-12英寸的晶片進行無損的逐層目視檢查。該系統配備了一套全面的參數化、叠加和缺陷位置分析（DLA）功能。該單元可以用納米精度測量，適合半導體制造中要求最苛刻的應用。KLA 6200 Surfscan利用設計用於收集整個晶圓表面高分辨率圖像的先進光學器件。自動激光高度剖面儀可以進行精確的三維表面分析。該工具還具有利用電子束橫截面（EBCS）檢測亞微米粒子和缺陷的自動缺陷檢測資產。為確保足夠的可重復性和準確性,TENCOR 6200 Surfscan配備了使用標準和參考晶片的自動校準模型。它還具有業界領先的高分辨率計量測量的巨點和線性測試功能。該設備設計為與晶片內晶片管理系統緊密集成，允許Surfscan與晶片內其他系統之間的通信。6200 Surfscan使用高級工具最大限度地提高了系統正常運行時間和效率,從而縮短了整個周期的時間。它包括一個帶有上下文相關菜單的直觀用戶界面,以及用於快速反饋缺陷檢測性能的全面數據審查和分析工具。該部門還配備了自動化配方開發和高級配方管理工具。PROMETRIX 6200 Surfscan是一臺顯著先進的晶圓測試和計量機器。它將先進的光學器件與自動傳感器和校準能力相結合，提供亞微米分辨率，提高了臨界晶片表面分析的重復性和準確性。創新的用戶界面和數據管理工具使該工具成為需要快速、準確的晶圓分析的制造商的首選。