二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293623028 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種多傳感器設備，設計用於快速準確的在線晶圓測試和計量。它提供了光學、激光、傳感器和定制軟件的組合,以提供跨多種基板的高級表面分析、缺陷識別和尺寸計量。6420具有獨特的光學配置,它基於經過精密修改的Miller三束掃描布局。這種掃描模式允許快速、高分辨率的可變聚焦成像,而不會影響性能。此外,該系統還可以測量非常精細的特征以及較大且形狀不規則的特征。6420還有一個激光光學單元作為其計量包的一部分。這包括一個傅立葉變換剖面儀，允許極其精確的曲面映射。這在需要表面地形表征的應用中特別有用。6420配備了集成的運行到運行控制功能,使操作員能夠實時監控示例狀態並確保可重復性。此外,還有各種硬件和軟件選項可用於定制性能、準確性和測試速度。最後,KLA提供的軟件包包括一套自動化分析工具,例如缺陷識別（同時針對汙染物和結構缺陷）、模式匹配、計量工具和相位對比成像。所有這些工具以及自定義編程選項都允許在各種晶圓測試和計量應用程序中實現最大的靈活性和易用性。總體而言,KLA 6420 Surfscan是一款功能強大、用途廣泛的機器,可快速、準確、可靠地測試和測量各種基板。它結合了先進的光學、激光光學系統和強大的軟件，是在線測試和計量要求的絕佳選擇。