二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293625758 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於檢測半導體晶圓上的表面缺陷。其獲得專利的Micro Scan技術比其他現有缺陷檢測系統提高了缺陷檢測靈敏度和重復性。Surfscan設計用於快速檢測高級光學、光刻和FEOL層上的真實微觀缺陷。Surfscan 6420配備了與高保真相機相連的數字視覺系統，該相機由精確、可重復的電動晶片級驅動。Surfscan 6420能夠以500 nm的分辨率一次測量最多兩個晶圓直徑。該單元包括線性和環形掃描檢查能力，以提供100%覆蓋整個晶圓。Surfscan 6420利用掃描電子顯微鏡（SEM）和廣域缺陷回顧（BFDR）成像的真實四維組合來收集和分析樣品圖像。這使Surfscan 6420能夠檢測和量化各種缺陷類型,包括翻轉模具或丟失模具,分辨率高達500 nm。Surfscan 6420為用戶提供各種算法，簡化缺陷診斷和分類的過程。這些算法使計算機能夠根據用戶定義的標準識別假定缺陷並將其分配給「分類器」。通過自動定心和對準功能可以實現高精度和可靠的缺陷定位。通過使用Surfscan 6420的一套用戶可配置的摘要統計信息和趨勢報告,可以簡化缺陷圖像分析。這些功能使用戶能夠快速識別和記錄晶片上可能存在的各種缺陷類型。此外,該工具的軟件附帶標準缺陷分類術語庫,以簡化和簡化缺陷報告。Surfscan 6420附帶了一個提供自動質量控制、後期處理和缺陷鑒定的綜合軟件包。該軟件還提供集成的GIS跟蹤和全面的晶圓數據分析功能。此外,它的設計目的是以最低的培訓和維護成本提供可靠、可重復的性能。總而言之，KLA 6420 Surfscan是一種先進的晶片測試和計量資產，旨在準確可靠地檢測半導體晶片上的表面缺陷。Surfscan 6420具有高保真成像、可配置算法和全面的軟件,是確保最高生產質量的理想解決方案。