二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9057232 待售
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已售出
ID: 9057232
Non-patterned wafer particle measurement system, 4"-8"
Model #: 289108
Currently configured for 8"
Cassette interface:
(1) Open cassette
SMIF Ready
Operating system: Win98
Application SW verision: 4.2
Standard puck
Blower unit
Blower power cable
Main unit power cable
Particle sensitivity: 0.10 um
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Count accuracy: +/- 1%
No SMIF Load-port
208 V, 60 Hz, Single phase, 17 A
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種最先進的晶圓測試和計量設備,設計用於在半導體制造過程中對矽晶圓進行高級測試和分析。該系統提供卓越的精度、精度和吞吐量,是晶圓計量需求的理想選擇。它配備了通用可靠的光學平臺,並提供了先進的自動化晶圓映射、缺陷成像和缺陷審查功能。KLA 6420 Surfscan利用基於窗口的計量軟件提供無與倫比的控制和處理能力。它使用戶能夠通過快速高效的數據處理和報告自定義測試和設計。該單元采用大規模計量模式,采用32點網格掃描陣列,在任何大小和厚度的基板墊上提供更好的采樣覆蓋。它包括一個獲得專利的SmoothScan™平臺,具有先進的光學減少和自適應速度控制功能,可減少非均勻的樣品旋轉,從而產生更精確的測量結果。TENCOR 6420 Surfscan還配備了特殊的防塵過濾器,可以消除灰塵顆粒,減少晶圓上的機械應力。它能夠實現快速、準確的計量測量,包括晶圓厚度、區域厚度、總表面積、脊柱安裝間隙和模模映射。它還具有強大的自動缺陷識別和分析功能,因此晶圓檢查可以快速高效地完成。6420 Surfscan是一款高性能、高精度的機器,具有多種成像模式,包括亮場和暗場成像。它還配備了集成圖像分析工具(IAS),在晶圓制造過程中提供自動化測試和分析。IAS軟件可快速解決問題,減少測試和分析時間。該資產與其他計量系統完全集成,便於傳輸和共享數據。PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先進可靠的型號,旨在滿足晶圓計量和測試生產線的苛刻要求。它提供了無與倫比的精度、精度、吞吐量和存儲容量,使其成為任何半導體制造過程中必不可少的工具。
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