二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9133277 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款高度先進、多應用的晶圓測試和計量設備。其先進的軟件環境和全面的硬件平臺使其成為各行業生產環境的絕佳選擇。它旨在提高晶圓測試和計量活動的可靠性和可預測性，同時降低成本和揭示重要見解。KLA 6420 Surfscan使用獨特的光學CD計量（OCM）掃描系統來精確測量線寬和CD（臨界維度）值。它配備了自動化的、非侵入性的采樣級「熄燈」功能,使設備能夠準確地為客戶執行完整的晶圓表面檢查和微觀結構的詳細分析。該機具有2軸傾斜補償能力，對於探測和繪制高度平面結構至關重要。TENCOR 6420 Surfscan還配備了前沿軟件功能，提升了其硬件所實現的性能。它能夠捕捉和分析各種類型的高速光譜，包括低分辨率和全分辨率（1GHz/6GHz），還能進行全方位的缺陷檢測，如TTV、測量和過程控制評估。它的軟件建立在用戶友好的界面上，目的是減少用戶錯誤，提高整體效率。PROMETRIX 6420 Surfscan還包括軟件定義的清潔室功能,通過一系列基於鉻的可上載記錄為客戶提供全面的操作可追蹤性。經過適當的校準，能夠進行低至2nm的高精度測量。它具備先進的粒子成像和計數（PIC）功能,還可以在幹法和濕法過程中從晶片和標線獲取數據。總體而言,6420 Surfscan代表了晶圓測試和計量系統的最新進展。從先進的光學CD計量工具到全面的軟件功能,此資產提供了準確的測試、豐富的功能以及可靠、經濟高效的制造。