二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9205197 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，使用「藍色掃描」成像和映射技術獲取有關晶圓特征和晶圓缺陷的數據。該系統可以成功地測量晶片的兩個主要目的：第一，用於測量晶片的地形，以確定晶片是否在規格之內；其次，它用於檢測晶圓表面或晶圓上的產品設備中的潛在缺陷。KLA 6420 Surfscan提供卓越的地形成像和測量能力。它使用正向散射和反向散射成像技術來產生晶圓表面的2D Blue Scan圖像。這些圖像還包含有關晶片特征的地形信息,如高度、寬度、間距和半徑,低至0.05 µm。對這些圖像進行評估,並將其與設定的標準進行比較,以確保晶片符合其期望的規格。TENCOR 6420 Surfscan還包括一種名為Automated SmartAnalyzer的先進的基於光學的檢測技術，它可以根據缺陷的光學特性檢測缺陷，如2D Blue Scan圖像所示。這項技術使用復雜的算法組合來識別和分類不同類型的缺陷，如顆粒汙染、過度蝕刻和劃痕。Automated SmartAnalyzer還能夠提供有關缺陷類型（如大小、形狀和深度）的更詳細信息。該單元還包括一個名為ProSystem的缺陷分析軟件套件，可用於分析PROMETRIX 6420 Surfscan收集的缺陷數據。ProSystem使用戶能夠生成有關缺陷大小、分布、位置和類型的詳細報告。該軟件套件包括內置的統計流程,可幫助確定數據集隨時間推移的趨勢。總體而言,6420 Surfscan是一臺功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量機器,提供無與倫比的成像和測量功能。它結合了Blue Scan成像、Automated SmartAnalyzer技術和ProSystem分析軟件，使其成為晶圓表面成像、缺陷檢測和缺陷分析的有效工具。