二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9209993 待售
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已售出
ID: 9209993
晶圓大小: 4"
優質的: 1995
Unpatterned surface inspection system, 4"
Set up for 4" x 4" substrate
Non patterned wafer film surface analyzer
Sub micron particles:
Polysilicon
Tungsten
Epitaxial
Polished silicon
Round or rectangular subtrates: 4", 5", 6", 8"
Configured for 4 x 4 square wafers
Setup with CD rom
Automatic wafer handler
Capture rate on bare silicon: 0.1 um @95% Sensitivity
Spatial resolution: 50 um
Contamination less than 0.005 particles / cm² greater than 0.15 um
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
2D Signal integration
Non contaminating robotic handler
X-Y Coordinates
Random access for sender / Receiver unit
SECS GEM Capable
Illumination source: 30 mW Argon-ion laser
Wavelength: 488 nm
Operating system: Microsoft Windows 98
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種綜合性晶圓測試和計量設備,旨在為需要有關其半導體產品詳細信息的工程師和技術人員提供高質量的數據。此工具能夠對各種晶圓類型、尺寸和形狀執行表面、缺陷、覆蓋、粗糙度、粘附或汙染分析測量。用於檢測晶片表面質量和缺陷，分析微電子電路和互連的性能。KLA 6420 Surfscan包括多個檢測系統和一個分析功能集，旨在以0.1微米分辨率測量微米級表面特性。它具有可變的視場模式，允許一次進行全晶圓掃描，可調放大倍數設置高達10倍，用於微觀分析。它能夠測量包括粒子、針孔和碎片在內的三種不同類型的缺陷，可以同時獲得圖像和數據點。自動測量和檢測系統可以給出晶圓表面的三維分析和整體缺陷圖，以便用戶識別和解決問題區域。TENCOR 6420 Surfscan利用先進的算法，利用超高速靜電測量單元，允許無與倫比的精度和可重復性。此外,它還可用於檢測邊緣事件、最小化錯誤警報、檢測隱藏的缺陷以及對各種進程窗口進行測量。它還可以檢測和測量邊緣區域以外的晶圓缺陷,其他系統通常會忽略這些缺陷。該儀器的用戶友好界面還允許快速設置和詳細分析。此外,它還配備了自動校準功能,有助於減少用戶培訓、時間和成本。此外，它是在一個由防故障措施組成的級聯機器中設計的，以盡量減少用戶幹預並提高數據準確性。總體而言,6420 Surfscan是當今最準確、用途最廣泛的晶圓測試和計量工具之一。它旨在提供最可靠、最精確的缺陷檢測,其用戶友好的設計使其易於使用和維護。這種多合一晶圓測量工具是任何半導體產品測試和分析需求的理想選擇。
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