二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9216651 待售
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ID: 9216651
晶圓大小: 6"-8"
Unpatterned surface inspection system, 6"-8"
Bare silicon wafers
With films surface particles & defects
Handler: 6" / 8"
Laser:
ARGON Laser: 30 mW
Wavelength: 488 nm
Blue laser
Operator interface: Trackball and keyboard standard
Operating system: Windows 98.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是晶圓測試和計量的最先進的設備。該系統提供創新技術,如多傳感器技術和工具組合,用於可重復、可靠的晶圓測量。憑借其先進的功能,KLA 6420 Surfscan在晶圓測試和計量方面提供了最高水平的準確性和可重復性。該單元允許整合現有的掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)和掃描熱顯微鏡(STM)能力,從而可以對晶圓地形和性質進行更精確和全面的表征。TENCOR 6420 Surfscan還為用戶提供了獨特的掃描方式,允許在無需更改樣本的情況下捕獲高分辨率二維(2D)和三維(3D)圖像。6420 Surfscan的工具組合功能提供卓越的晶圓測試和診斷功能。它結合了電子顯微鏡、光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡的最佳能力,用於晶圓計量。它還提供了Choice Card計算機,允許用戶為特定應用程序選擇所需的分析技術。此外,PROMETRIX 6420 Surfscan還提供卓越的映像功能。其Multi-Sensor Technology允許從幾個不同角度捕獲圖像,從而提高了圖像分辨率和準確性。這項技術還可以在低、中、高分辨率模式下獲取圖像,使用戶可以靈活地為每個應用選擇理想的掃描參數。最後,KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan還為晶圓測量提供了卓越的速度和自動化能力。其高速掃描特性使晶圓地形和缺陷檢測得以快速準確地獲取。此功能還最大限度地減少了操作員的時間和工作量,為晶圓測試和計量提供了更好的吞吐量。總之,KLA 6420 Surfscan是一種功能強大且先進的晶圓測試和計量工具,能夠提供最高水平的精度和準確性。憑借其多傳感器技術、工具組合和Choice Card資產,此模型為用戶提供了無與倫比的成像功能、速度和自動化功能。
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