二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9221587 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備。該系統可用於臨界維度（CD）缺陷檢測、納米成像、叠加對準、晶圓級CD計量、均勻性測量等各種計量應用。該單位采用先進的光學、電氣和機械技術，以滿足高精度測量和生產監測任務的需求。機器的關鍵部件包括自動晶圓處理工具、多站自旋卡盤級、大面積探測器、激光掃描儀、掃描電子顯微鏡（SEM）和對準望遠鏡成像資產。自動晶圓處理模型允許在不同設備組件之間進行高效的樣品傳輸和加載。多站自旋卡盤級用於以高達4000 rpm的速度旋轉樣品。大面積探測器收集系統數據，包括圖像數據和其他工藝質量參數。該探測器采用獨特的電荷耦合器件（CCD）和光電倍增器技術，提供高速信號捕獲和傳輸。16位激光掃描儀利用激光束對表面特征、臨界特征尺寸和缺陷進行精確分析。SEM用於生成亞微米分辨率圖像，用於缺陷檢測和測量。利用低噪聲成像鏈來增強圖像采集過程。這樣可以對較小的特征進行高精度的尺寸和形狀測量。對齊的望遠鏡成像單元用於測量晶圓不同層間的亞微米覆蓋對齊精度。這臺機器結合了高分辨率攝像機和閉環XY運動舞臺以及強大的圖像分析軟件，提供了最佳的叠加精度值。該工具還包括具有多種輸入選項的監控資產。它允許用戶查看實時示例圖像和其他與流程相關的信息,放大倍數可達1000倍。數據使用板載硬盤傳輸和存儲,可以備份或下載到任何遠程設備以進行進一步分析或存檔。KLA 6420 Surfscan型號是晶圓測試和計量的一種高度先進的設備。它以高速提供可靠、準確的結果,並具有出色的用戶體驗。該系統具有自動化晶片處理技術、高質量成像系統和強大的軟件，為晶片級CD計量、納米光譜、叠加對準和均勻性測量應用提供準確的結果。