二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9238556 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款綜合性晶圓測試和計量設備，旨在滿足先進晶圓檢測和計量要求的挑戰性需求。該系統為關鍵的過程控制應用程序提供了一個全面、集成且可靠的平臺。Surfscan 6420采用先進的計量技術獲取全面的晶圓信息,提供全均勻性分析、叠加、線寬、薄膜厚度映射和輪廓測量。它能夠成像侵略性角度，從0到85度，以訪問微妙的深度細節相對容易。此外,該單元還包括一個高端掃描頭和一個高分辨率掃描儀,該掃描頭能夠提供兩個具有擴展焦點深度的平行視場。這臺多通道機器可以在一小時內測量150個晶圓樣品，分辨率為0.1 μ m。Surfscan 6420還包括高級自動化功能和用於高精度測量的真正高斯濾波。它利用智能邊緣檢測算法和各種先進的自動對焦技術來精確測量結果。其他功能包括用於精確表面地形測量的自動光計量工具、自動光介電常數（PDC）測量模塊和自動表面形狀分析。該資產具有高度靈活和面向未來的特點,具有可升級的軟件、硬件和附件。此外,該模型還可以與第三方應用程序接口,並通過以太網執行遠程操作。這有助於遠程優化、支持和維護。總體而言,KLA 6420 Surfscan是高級晶圓測試和計量要求的理想選擇。它可靠、精確,並提供全面、自動化的分析功能。它與各種第三方應用程序兼容，面向未來，並具有網絡能力，可用於擴展遠程操作。