二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254029 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是為半導體制造而設計的晶圓測試和計量設備。它是專門為檢查和分析先進光刻工藝的缺陷，以及測量和量化晶片表面參數而設計的。Surfscan 6420由全自動晶圓處理系統、高分辨率成像單元和允許高分辨率成像的專利光束移位技術組成。該機器能夠進行45毫米以上的非接觸式光學檢查，還可以測量和量化300毫米以下任何尺寸晶片上的表面參數。該工具還具有高級軟件,可以可靠地發現各種大小的缺陷,以及提供可重復和可靠數據的自動測量例程。資產使用高分辨率成像來檢測缺陷，如顆粒、劃痕和印刷異常，否則使用傳統的測試方法很難找到。然後通過將圖像與允許的模板和公差進行比較的自動圖像處理模型對圖像進行分析。該設備還包括一個軟件開發工具包，供用戶創建自定義測量和分析應用程序。除了其缺陷檢測功能外,Surfscan 6420還具有陣列叠加功能和優化的輪廓工具。這樣可以精確測量各種參數,包括線緣粗糙度、步長、寬度和側壁角。系統的自動化軟件檢測算法可以在整個晶圓上或在單個模具上測量這些參數,然後以易於讀取的圖形量化結果。總體而言，KLA 6420 Surfscan是一個強大而先進的晶圓測試和計量單元。其設計符合最嚴格的行業標準，在檢測和測量半導體缺陷方面提供精確度和準確性。Surfscan 6420具有全自動流程、易於使用的軟件和高分辨率成像功能,是半導體制造商的寶貴工具。