二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254828 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan設備是一種先進的晶圓測試和計量系統，旨在提供全面的晶圓表面表征。具體來說,6420提供了廣泛的功率特征分析（PSA）、薄膜和地形測量,包括高度校準、電容、電導率、臨界尺寸（CD）、粗糙度、均勻性、散射和線寬變化,遍及各種樣本量和復雜性。6420是一個集成單元，旨在允許最快、最精確的晶圓表面測試。它將計量穩定（MSC）技術與業界領先的ProScan相結合,能夠準確、快速地進行原子級輪廓測量。使用專利算法，6420提供精確的表面表征能力，具有0.2nm的空間分辨率和1-2nm的垂直分辨率。該機器還能夠自動檢測關鍵特性,如護墊、溝槽、通風孔和閘門,並提供邊緣檢測功能。6420是一種集成工具，具有一系列具有不同功能集和測量方法的傳感器。其中包括傾斜、非均勻和彎曲模式、多級測量或單波長和多波長PSA測量的解決方案。它還提供各種校準模式，如自校準、浸水、校準線和手動墊片掃描。6420提供了業界領先的測量重復性,其分數視圖不確定性小於3nm。KLA 6420 Surfscan是一種直觀且易於使用的資產,具有用戶友好的界面和圖形分析工具。它還具有高度可配置的可自定義設置,使用戶能夠根據自己的確切需求定制模型。6420具有一系列令人印象深刻的高級功能,為晶圓測試提供了強大的多功能性。它是任何需要詳細晶片表面表征的生產線或實驗室的理想設備。