二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9285832 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量（WTM）設備,提供全面的晶圓檢測,並具有令人印象深刻的整體工藝吞吐量。該系統配備了支持MEMS和先進CMOS技術的KLA廣泛的可變晶圓檢測選項系列。它包括優化的設計,可解決重復性、統一性和性能等關鍵問題。6420在自動光學檢查和/或模具級表面測量的任意組合中支持多達六個探測器。它配備了支持線性級的多位置XY級運動單元和多種其他光學檢測技術。事實上，6420的光學級還設有點對點對準軟件，以確保傳感器的精確對準。這種尖端的對齊軟件提供了高精度、減少現場失真和改進的可重復性。KLA 6420 Surfscan還有一個集成的基板處理機，用於提高基板保真度和延長刀具壽命。它配備了獨一無二的Auto-WideField資產，使用戶能夠進一步減少舞臺擺動，提高基板定心精度。這樣可以確保在整個過程中進行更準確的測量。Auto-WideField模型還輔以TENCOR激光幹涉叠加設備（LOMS），顯著提升了叠加性能。此外,TENCOR 6420 Surfscan還具備全面的數據采集、分析、可視化和報告功能。這個功能強大的軟件包允許用戶快速、輕松地分析和查看數據，以及運行流程優化腳本。6420還支持全自動系統控制，使其能夠無縫集成到現有的晶圓廠中。PROMETRIX 6420 Surfscan是一款先進的WTM設備,提供令人印象深刻的功能和尖端技術。其全面的能力和可靠性使其成為各種晶圓檢驗和計量應用的理想機器。6420大大提升了生產效率和吞吐量，同時也提供了出色的投資回報。