二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9287498 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於提供高速、無損測量，用於高精度晶圓檢查和校正過程控制。KLA 6420 Surfscan系統是以高吞吐量率提供高精度晶片評估的業界領先者。該單元設有3軸隔振臺、自動晶片裝載機、5微米成像機和大型高分辨率攝像頭。該成像工具能夠以每像素1微米的速度捕捉圖像，從而能夠在盡可能最好的水平上檢測任何表面缺陷。5微米寬帶激光器可以在高達150毫米的範圍內評估晶片。Surfscan 6420還具有集成的高級過程控制資產,使其能夠自動調整測試參數和校準測量結果。此外，該模型還具有可靠的自動晶片映射功能，可以快速檢查整個晶片或較大的零件。該設備非常方便用戶使用，具有先進的軟件，提供各種格式的數據輸出。它為用戶提供各種圖形顯示,包括測量點和誤報/誤報數量,所有這些都可以在報告文件中輸出。此外,Surfscan 6420還具有多種軟件包,可支持一系列測試應用程序,如邊緣鈍化、線寬確定、孔或孔形狀以及層測試。Surfscan 6420還提供了許多流程工具,如模板匹配、匹配匹配和掃描線擬合。這些流程工具提供了對模式特征或流程相關協議的快速控制。此外，該系統與現有計量系統無縫集成，提供數據互操作性和兼容性。TENCOR 6420 Surfscan是晶圓測試和計量行業中最可靠、功能最強大的系統之一。它能夠提供高精度的可靠、快速的測試結果。用戶友好的軟件和強大的過程控制系統使用戶確信他們的測試結果既可靠又可重復。