二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #2304 待售
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ID: 2304
Patterned wafer inspection system
Repeatability: < 3%
Mean count: 500 Particles
Diameter latex spheres: 0.5um
Resolution: 0.4um Diameter latex spheres
Substrate: SEMI Thickness standard wafer 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 100, 125, 150 & 200 mm
Throughput:
(22) Wafers / Hour (150 mm)
(19) Wafers / Hour (200 mm).
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan是一款前沿晶片測試和計量設備,旨在實現半導體晶片的高通量、無損測試和計量。該系統將高級測試和檢查功能與現場驗證的算法和變量集成在一起,為用戶提供最準確的晶圓測試和計量結果。KLA 7200 Surfscan的高級設計能夠在使用傳統工藝的時間和成本的一小部分上實現無損晶片測試和計量。該裝置配備了先進的光學顯微鏡機器,用於進行宏觀測試,以及微觀分析,用於粒子測量、蝕刻深度測量、地形映射和線寬表征。TENCOR 7200 Surfscan還配備了低強度晶圓探針,使用戶能夠在制造後不久檢查IC和其他組件。PROMETRIX 7200 Surfscan具有高度自動化的特點,可簡化晶圓測試和計量過程。這些功能包括全自動晶片處理工具、用於自動粒子測量的高分辨率CCD攝像頭以及用於缺陷分析和現場檢查的高速數據采集資產。該型號還提供獨特的功能,例如能夠將自動光學檢查與其他非常高的放大倍率(VHM)集成在一起,以及屏障缺陷檢查(BDI)功能。在性能方面,7200 Surfscan在晶圓測試和檢查能力方面處於領先地位。其高精度算法產生可靠的測試結果,提高了準確性、重復性和統計可靠性。其先進的光學設備以高分辨率產生精確的圖像。而其低力晶片探針減輕了敏感元件受損的風險,保持了測試樣品的完整性。簡而言之,KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan是一種晶圓測試和計量學系統,與傳統方法相比,它能夠在很小的時間和成本內實現精確的結果。其先進的技術和強大的功能使其成為完整可靠的半導體器件測試和計量的理想解決方案。
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