二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9255577 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan是為晶圓級測試和測量而設計的表面分析和計量設備。它是一種通用的晶圓映射工具,能夠通過晶圓厚度、缺陷位置和表面粗糙度等多種應用提供可靠、準確的測量。它是用來使用光學和非接觸原子力顯微鏡(NCAFM)來提供0.1 nm到3+mm範圍內的4X或更高分辨率的測量。該系統在具有高速圖像采集單元的Windows PC上運行,用於捕獲圖像數據,以便在獲取數據時實時處理測量結果。Surfscan 7200使用光學顯微鏡(OM)和非接觸原子力顯微鏡(NCAFM)的組合,提供晶圓表面形態的詳細數據。NCAFM使用低溫納米分辨率力顯微鏡來測量2D和3D中表面的高度、粗糙度和形狀。NCAFM機器包括一個Z-Scanner,允許對整個表面進行自動高速掃描,從而得到準確的地形圖。OM工具使用高分辨率彩色相機和LED背光來查看和測量晶圓的表面細節。正是這兩個系統之間的接口使Surfscan 7200能夠詳細測量晶圓的表面。Surfscan 7200具有一個X/Y級,具有兩個獨立的測量軸,直徑範圍為6 mm,最大分辨率為0.1nm。XY級可以在光學和NCFFM測量資產之間移動晶片,以進行詳細的3D掃描。該模型還配備了硬件和軟件組件,用於定制自動化、測量、成像和數據分析。Surfscan 7200包含其他硬件和軟件包,如AutoFocus、Hot/Cold Decking和DataLink軟件,用於連接到在線計量系統。Surfscan 7200具有易於使用的軟件,通過為晶圓級測量提供預先配置和驗證的參數(如優化的掃描速度和大小)來縮短用戶編程時間。它還使用戶能夠自定義特定應用程序的設置。該軟件能夠生成詳細的數據分析,包括表面地形、缺陷檢查、特征分析等等。此外,該軟件符合各種國際標準以及SEMI-standards。Surfscan 7200是為晶圓級測試和測量而設計的行業標準計量設備。它采用先進技術構建,以快速高效的方式提供高度準確和可靠的測量。集成的硬件和軟件組件使其成為晶圓級測試和計量應用中使用的通用平臺。
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