二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #138855 待售

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ID: 138855
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Patterned wafer inspection system, 8" Model no: 269913 Chuck: Up to 8" Robotic handler 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款晶圓測試和計量設備,旨在為用戶提供最高級別的性能。KLA 7600 Surfscan能夠自動進行晶圓測試、缺陷檢測和計量。其特點包括自動晶圓測試、二次電子成像、X射線映射、自動缺陷分類以及自動粒度和形狀分析。TENCOR 7600 Surfscan擁有一個自動化系統,它利用機器人處理和基於視覺的檢查來識別、測量和評估矽片上的表面缺陷。這有助於節省生產過程中的運營成本和時間,並減少員工的勞力。此外,該單位還提供廣泛的測試能力,從監測結構缺陷和變化到更復雜的功能,如過程監測和串聯顆粒分析。為了進行缺陷檢測,PROMETRIX 7600 Surfscan采用了二次電子成像(SEI)技術,它提供了一個高分辨率圖像,該圖像被捕獲並顯示給用戶。此外,該機器通過其X射線映射模塊提供X射線映射和變異性評估。這樣可以確保準確顯示捕獲的圖像。該工具還采用自動缺陷分類(ADC),用於識別和分類晶圓上的缺陷。此外,7600 Surfscan允許全面分析顆粒大小和形狀,允許用戶測量和分析晶圓上的顆粒。KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan還具有一系列附加功能,如環境控制室、多達七種不同的激光模式、完全集成的校準夾具以及用戶友好的圖形用戶界面(GUI)。再者,資產可以與半導體生產模型的其他部分集成,如支持晶圓制造的KLA 7000 Steps。總體而言,KLA 7600 Surfscan是一款功能強大且可靠的晶圓測試和計量設備。它能夠準確檢測、測量和評估矽片表面缺陷,在生產過程中節省時間和勞力。此外,它還能夠進行X射線映射和先進的粒徑和形狀分析。所有這些功能使TENCOR 7600 Surfscan成為監測半導體生產過程的理想解決方案。
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