二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9065953 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是晶圓測試和計量的工具。它使用戶能夠執行高級缺陷檢測、映射和審查,以支持對光刻工藝的鑒定和優化,以及工程師對下一代光刻技術的缺陷特征分析。它有能力進行廣泛的檢查，包括光學臨界尺寸（OCD）、晶圓表面地形（3D/2D）測量、缺陷審查和光學計量。KLA 7600 Surfscan具有自動對焦功能,允許用戶在具有高吞吐量的45 nm和90 nm節點晶片上實現卓越的強迫癥掃描質量。它還有一個自動檢查系統，使用獲得專利的智能模式算法從2 nm間距的晶片提供高分辨率缺陷捕獲。動態聚焦傳感器用於提高掃描過程中的聚焦穩定性,該傳感器在掃描過程中不斷監視和調整焦點。TENCOR 7600 Surfscan具有Litescan工具,用於檢測和成像不同形狀和大小的缺陷。該工具使用紅外激光器照亮晶片並捕獲沒有汙染或損壞晶片的圖像。它還配備了MicroMapper功能，可以檢測超細缺陷。來自每個晶片的缺陷數據存儲在數據庫中,以便可以使用3D映射特征將其與其他晶片進行比較。PROMETRIX 7600 Surfscan結合了多種技術,使其成為最強大的晶圓測試和計量系統之一。它可以提供詳細的缺陷分析、復雜的像素級掃描、統計數據分析和缺陷審查。此功能組合確保用戶能夠準確有效地表征可能存在的缺陷類型並改進流程改進。