二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9073508 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan系統是一種晶圓測試和計量裝置，設計用於探測和表征小型電子結構的表面特征。它為監測制造過程提供了深入的數據，這對於現代電子設備的高效可靠生產至關重要。KLA 7600 Surfscan包括三個主要組件；Analyzer Station, the Optical Metrology Station, and the Wafer Chuck Stage.Analyzer Station由兩個測量頭的表面組成-負責雙通道電氣測量的主動頭和用於測量薄膜厚度而不是電氣特性的被動頭。光學計量站用於測量表面地形，允許評估和優化高分辨率的模式。晶片卡盤級是一個附加組件,可確保晶片的精確放置和對齊,以及蓋子與基板的接觸。TENCOR 7600 Surfscan還具有許多其他組件。這包括高頻片狀電阻模塊、TTV分析和自動化工具，以及光學粒子檢查和二次離子質譜。高頻薄板電阻測量薄膜層的薄板電阻，可用於優化電氣特性。同時，TTV分析模塊提供了多個晶片表面地形的詳細視圖，開發了一種更快、更高效的晶片與晶片比較工藝。自動化工具允許加載多個分析和表征模式，而光學粒子檢查提供晶圓的粒數。最後，二次離子質譜法通過質量分離原子和分子，以便進行簡單有效的汙染分析。PROMETRIX 7600 Surfscan系統為各種晶圓測試和計量需求提供了全面、高質量的解決方案。隨著設備精度和自動化能力的提高，它已被證明是檢測現代電子設備缺陷的理想解決方案。