二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9122626 待售

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ID: 9122626
晶圓大小: 2"-8"
Particle inspection system, 2"-8" Model no: 249505 Particle sensitivity: 0.15 um 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款領先的晶圓測試和計量設備。Surfscan 7600是一種全自動工具,旨在為晶圓制造以及高級研發應用提供世界一流的性能和全面的過程控制。7600具有強大而堅固的光學設計,可實現卓越的晶圓檢測、精確的晶圓地形測量、高吞吐量和完整的數據完整性。該系統提供基於步驟的計量配置,允許在流程開發中擴展控制和靈活性。其用途廣泛的光學平臺提供各種光學,允許在缺陷、尺寸檢查、臨界尺寸圖案粗糙等不同領域進行有效分析。此外,Surfscan 7600還包括一個內置的數據處理單元,可準確地分離、分類並提供檢測到的缺陷的即時反饋。該機還具有多波長光學成像、全場表征、自適應增益調節、圖像快速相關、缺陷檢測能力增強等多種綜合處理特點。再者,7600可以與現有的製程設備串聯,允許進一步的製程控制和定制。從該工具獲得的數據以直觀易懂的格式呈現。Surfscan 7600能夠進行全面的晶圓分析,使其成為先進研發的寶貴工具。其測量能力範圍允許對光學過程進行精確控制。該資產還被認為是可靠和高度堅固的,其能力使其成為行業中眾多晶圓制造業務中必不可少的。
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