二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9137281 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan
已售出
ID: 9137281
晶圓大小: 6"
Patterned wafer surface inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一種高性能晶圓測試和計量設備,用於測量集成電路(IC)的電氣、光學和機械特性。該系統為各種晶片基板提供了全面和可重復的檢驗和測量能力,並為不同類型的IC提供了多種測量選項,包括電阻率、電容、排便率、均勻度、線寬、3D高度等。KLA 7600 Surfscan將高分辨率橫向掃描顯微鏡(LSMs)與最先進的CCD相機和計算機控制的級系統集成在一起,提供納米級晶片的快速檢查和測量。該單元側軸精度為1納米,垂軸精度為1納米,為測量結果提供了高重復性和精度。此外,TENCOR 7600 Surfscan提供了三維成像、復雜叠加設計、高分辨率信號處理等先進成像能力。為確保可靠的性能,7600 Surfscan設計了多種高科技組件,如空氣驅動晶圓定位機和多級動態級工具。空氣驅動的晶片定位資產允許將晶片精確地手動和自動放置到1微米以內,從而實現更高的精度和吞吐量。多級動態階段模型使三維掃描能夠精確聚焦於感興趣的領域,並提供高焦度深度和高掃描速度以最大限度地提高效率。PROMETRIX 7600 Surfscan還配備了自動缺陷審查設備,使工程師能夠快速查看和識別掃描晶片中的潛在缺陷。該系統能夠在不到半秒的時間內捕獲全套圖像,並根據大小和亮度提供缺陷的圖形表示,使工程師能夠快速調查和診斷潛在的問題區域。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan還提供了多種控制選項,包括一個用戶友好界面,允許工程師自定義設備以滿足特定的程序要求,並將其與其他硬件和軟件系統集成。此外,該機器與業界領先的計量平臺兼容,確保結果與行業標準兼容。總體而言,KLA 7600 Surfscan工具是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量工具,使工程師能夠快速準確地檢測和診斷IC缺陷,從而確保盡可能高的質量標準。此資產提供了高級映像功能,使工程師能夠以高效和經濟高效的方式查明潛在問題。
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