二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9227522 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是為高吞吐量和質量控制應用而設計的晶圓測試和計量設備。它使用先進的光學、傳感和圖像處理技術來精確測量晶圓表面的臨界尺寸（CD）和地形，使制造商能夠檢測生產缺陷，驗證關鍵的器件層特征，並測量叠加精度。該系統由一臺電動光學顯微鏡、兩臺高分辨率激光器、一臺數碼相機和一套集成軟件組成。顯微鏡用於檢查和成像直徑不超過9英寸的晶片表面。激光測量多個區域的特征，並提供高達0.25微米的垂直分辨率。相機捕捉12 MP彩色圖像驗證缺陷，軟件套件提供CD和膠片測量、實時圖像比較等功能強大的實時分析功能。KLA 7600 Surfscan能夠測量分辨率高達0.25微米的薄膜和設備,使制造商能夠準確檢測生產缺陷,開發優化的工藝流程,並創建高產量的設備批量優化（DMO）程序。該單元也是高度可靠，發出最小背景噪聲和提供無與倫比的準確性和可重復性。TENCOR 7600 Surfscan是晶圓測試和計量應用的理想選擇，快速可靠地提供高精度結果。其易於使用的集成軟件套件針對數據采集、統計過程控制（SPC）和高級分析進行了優化,使用戶能夠快速高效地檢查和分析晶圓曲面。此外,該機器結合了先進的光學技術、高分辨率激光器、強大的軟件和對多種基板的支持,有助於確保制造商能夠在晶圓測試和計量應用中經濟高效地取得一致的高質量結果。