二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9274943 待售
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ID: 9274943
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
Particle inspection station, 8"
Patterned surface inspection system
ARGON Laser
Power supply: 208 V, 60 Hz
1993 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,將晶圓地形和形態的測量和檢查與自動化平臺相結合。它利用先進的計量硬件和軟件創新,為流程工程師提供可重復和可靠的結果。Surfscan 7600是一種通用系統,用於多種行業,包括半導體、平板顯示器和光伏。KLA 7600 Surfscan結合了無接觸光學單元和非接觸表面測量技術,提供高分辨率、可重復的地形測量和圖像。它利用高分辨率CCD攝像機在樣品表面輪廓的水平和垂直方向上捕獲多達200張圖像。此外,該機器還包含一個8軸自動樣品級,以實現對整個樣品的高精度掃描。這種自動掃描和非接觸光學分析的組合允許在沒有機械用戶輸入的情況下對異構樣本進行快速、高度精確的拓撲測量。對於分析,7600具有多個分析包,包括流行的用於3D輪廓分析的SP3D軟件和用於粗糙度分析的MV3D。利用並行體系結構,SP3D可以快速處理數據以進行測量,例如步高、單一或多個焦點深度的成像、缺陷、顛簸、特征區域和偏差。Surfscan 7600還支持各種用於統計數據收集和分析的行業標準計量軟件包。TENCOR 7600 Surfscan配備了許多增強其計量能力的實用功能。諸如一鍵式自動對準、自動樣本掃描和精確的x-y-z分析等功能,床區允許來自多個樣本大小的數據。此外,7600還配備了內部環境控制工具,以確保樣品剖面測量在不同溫度和相對濕度下的穩定性,使資產能夠在不同地理和氣候下進行準確測量。最後,7600采用了軟件驅動的樣品處理模式,使晶圓的手動和自動處理成為可能。總體而言,7600 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量設備,其獨特設計用於測量和檢查異構樣品的地形特征。它為流程工程師提供了可靠、可重復的結果,並結合了硬件和軟件創新技術,使其與競爭對手脫穎而出。它具有高分辨率的成像能力、全面的分析包以及溫度/濕度穩定性,使其成為各種行業中的寶貴工具。
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