二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9299452 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一種晶圓測試和計量學設備,具有先進的技術平臺,能夠對各種半導體和光電子應用進行關鍵檢查、表征和過程控制。該系統由掃描電子顯微鏡（SEM）模塊和原子力顯微鏡（AFM）模塊兩個模塊組成。SEM模塊提供高分辨率成像和自動化測量,以便對晶圓地形和表面缺陷進行深入分析。它可以檢測微米級表面缺陷，以及測量和分析階梯高度、邊緣粗糙度和中心線粗糙度等特征輪廓。AFM模塊在環境和真空條件下運行，以納米級分辨率提供原子級分辨率成像。它可用於表征表面和納米結構，以支持工藝開發、生產監測和故障分析。KLA 7600 Surfscan通過其自動對準、掃描、測量和數據分析功能來簡化晶圓計量。該裝置包括一個快速、精確和安全的晶圓處理機.它配備了高分辨率彩色CCD相機和電動XY級，可以快速將晶片以可重復的精度移動到所需的位置。該工具還配備了自動換鏡器和對焦機構，可以將顯微鏡物鏡更改為最合適的設置，提供更高的分析精度和重復性。此外,TENCOR 7600 Surfscan還包括功能強大的數據處理資產,可通過圖表、編輯和報告功能收集和分析可交付數據。總體而言,7600 Surfscan是一種功能強大的晶圓測試和計量模型,它結合了先進的技術、安全的晶圓處理和復雜的數據處理,從而實現了快速準確的缺陷分析和故障分析。該設備能夠檢測和表征表面缺陷和納米結構，從而能夠對各種半導體和光電應用進行關鍵的過程控制。