二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9377353 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一種機器人晶圓分析設備，設計用於半導體制造過程。它具有良好的可靠性和重復性，能夠進行測試和計量。KLA 7600 Surfscan采用模塊化設計,由多個組件組成,可根據用戶的特定需求進行調整。該系統使用先進的5DOF Ekpyrotic Probe來繪制和分析晶片的表面地形。該探測器能夠進行深入、快速和精確的掃描和計量。Ekpyrotic Probe的工作面積為450mm,步進分辨率為100 μ m,可提供無與倫比的精度和速度。高精度機械元件為精確的測試和計量提供精確的運動控制。旋轉桌面確保晶片在測量和分析過程中保持最佳位置。它由高扭矩、高精度直流電動機驅動，並通過精確的伺服控制環路進行管理。所有原始測量數據都收集並存儲在7600軟件提供的SQL數據庫中。此綜合存儲單元能夠存儲數百萬點的專有和標準掃描數據集。SQL數據庫的靈活性和可擴展性允許進行復雜的數據分析和操作。TENCOR 7600 Surfscan使用自定義算法生成可靠的計量數據。掃描算法根據用戶定義的參數啟動、測量和跟蹤輪廓。晶圓數據可以與期望值進行比較，測量中的任何異常都可以快速識別。該機器具有圖形用戶界面（GUI）,易於操作和支持。與7600軟件集成的GUI使用戶能夠自定義設置並分析數據,從而獲得更深入的見解。此外,GUI還為用戶提供了分步說明和可視反饋,以方便地運行復雜的測試並監控工具的進度。PROMETRIX 7600 Surfscan是一款用途廣泛、功能強大的晶圓測試和計量工具。其先進的機器人掃描、可定制的資產模塊、高精度電機和直觀的軟件套件使其成為高精度晶圓分析的理想選擇。