二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9394280 待售

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ID: 9394280
優質的: 1995
Particle inspection system 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款突破性的晶片測試和計量設備,結合了最先進的光學和先進的分析,以前所未有的速度和精度測量晶片的物理和電氣特性。該系統用於半導體、MEMS器件、集成電路和其他基於晶圓的應用的材料的生產或研究級別分析。KLA 7600 Surfscan設備具有自動晶片處理機,可快速、精確地在其每個儀器和子系統之間傳輸晶片。這有助於快速測試和數據采集,從而可以比傳統的手動方法更早地檢測過程異常。此外,該工具還擁有一個具有綜合環境控制的原位潔凈室資產,以確保分析在受控環境中進行。該模型的計量功能包括先進的3D輪廓顯微鏡,用於測量晶圓的拓撲結構並幫助識別步長和表面粗糙度的問題。它還有一個光學擴頻(OSS)成像設備,可以檢測特征大小和形狀的微小變化,以及小顆粒。此外,該系統還配備了一個光散射單元,用於測量晶圓表面的顆粒汙染,並可以識別過程中的潛在汙染源。最後,TENCOR 7600 Surfscan機器可以測量晶片的電氣特性,有助於保證生產沒有缺陷。該工具還具有增強的軟件功能,可用於實時查看和分析數據。對於執行研究或生產的用戶,軟件可以生成包含詳細分析和可操作建議的報告,以便快速輕松地發現和識別過程缺陷。此外,該資產完全符合SEMI標準,可以準確收集和報告數據。簡而言之,7600 Surfscan是一種功能強大且可靠的晶圓測試和計量模型,非常適合研究和生產應用。它結合了先進的光學和分析技術,使用戶能夠快速準確地識別和分類缺陷,從而提供更好的質量保證。
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