二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #293595751 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一種晶圓測試和計量設備，有助於改善半導體器件生產過程控制和降低成本。該系統采用光學和電氣計量技術，以低噪聲、高精度和高速度測量晶圓和模具特性。該單元執行掃描區域的光學測量、缺陷的無損測量以及對過程吞吐量影響最小的其他過程。機器由多種組件組成，包括測試室、測量臂和數據處理器。試驗室是專門設計的降低噪聲、提高測量精度的環境。試驗室包括光源、照相機和分束器。光源照亮晶片和模具元件。攝像機捕獲組件反射的光的圖像並將其傳輸到測量臂。將照明光源產生的光模式與預定義的參考模式進行比較，以檢測和量化差異。測量臂包含一組傳感器,用於測量獲得的圖像並將其發送到數據處理器進行分析。數據處理器處理從測量臂收集的信息並生成結果。結果可以包括定量測量和缺陷檢測，通常保存在數據庫中，供以後檢索和分析。該工具還提供了多種改進過程控制的功能。例如,資產支持背面檢查,分析模具的背面是否存在質量問題。此外,用戶可以創建自定義缺陷類型和數據庫,從而更容易識別更復雜的缺陷。此外，用戶可以利用高級算法來提高測量的準確性。總體而言,KLA AIT I是一種功能強大的晶圓測試和計量模型,為用戶提供了一種可靠而高效的產品質量測量方法。該設備具有低噪聲和高精度測量以及多種功能,可幫助顯著改善過程控制並降低成本。
還沒有評論