二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9139695 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一種綜合性晶圓測試和計量設備，設計用於提供晶圓的準確和可靠的測量。該系統能夠以最短的時間和精力對薄片和厚片進行無損檢測和測量。該單元利用先進的技術和算法來檢測和識別從表面特征和微小缺陷到晶體學缺陷的缺陷。它還包含一系列用於分析和報告晶圓測試結果的集成軟件工具。機器的核心是專為晶圓測試和計量設計的專利KLA自動檢驗工具（TENCOR AIT）。PROMETRIX AIT使用差分成像技術將表面特征映射到3 nm範圍內的精度,其內置的高級算法甚至可以檢測和識別最小的缺陷。該工具還集成了自動化光學計量的高級算法，允許快速準確地測量晶圓的形狀和厚度。該資產還具有KLA/TENCOR/PROMETRIX微成像程序（TMIP）,它提供了一個易於使用的用戶界面來進行晶圓測試。TMIP使用戶能夠創建自定義缺陷檢測程序,這些程序可以根據其特定晶圓測試應用程序的特定需求進行定制。然後,這些自定義程序可以在KLA AIT上自動執行,從而允許快速且一致的晶圓測試,且用戶幹預最少。TENCOR AIT模型通過一系列高級統計分析工具來補充TMIP用戶界面。設備包含一個集成的直方圖引擎，可以產生強大的趨勢分析和統計報告。這些報告可以詳細推斷晶圓表面的顆粒密度或缺陷均勻性等缺陷的發生率。KLA AIT I非常適合一系列晶圓測試和計量應用，如半導體器件制造、光刻和蝕刻。該系統能夠以極少的操作員幹預提供極其準確的結果，使其成為生產高質量晶片的寶貴工具。