二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9171311 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是由KLA和TENCOR創建的晶圓測試和計量設備。KLA AIT I是一種自動檢查和測試系統（AIT），旨在對準和測量晶圓圖像，以確保在半導體晶圓上測量小結構和圖樣時的可重復性和準確性。TENCOR AIT I包括配備CCD相機和xyz掃描儀臺的Autoscope顯微鏡和集成成像平臺。顯微鏡提供高分辨率成像和廣泛的平衡和分辨率設置，以優化各種類型的晶圓。集成成像平臺包括分割、模式識別和模式生成過程的算法，使用戶能夠輕松生成模式文件並測量晶圓的特性。該設備利用雙軸掃描機來控制掃描速度並確保精確的晶圓對準。雙軸工具與自動顯微鏡通信，完成自動晶圓檢查過程。資產可以配置為掃描晶片上的X-Y坐標位置,最大掃描長度為8英寸,使其能夠測量晶片的大面積。AIT I使用TOK光學工件來確保測量的準確性和可重復性。精密光學制品尺寸和形狀相同，用於參考顯微鏡的物鏡，根據標稱顯微鏡參數校準視場。光學制品還使模型能夠在晶圓上的不同位置精確和重復地測量各種尺寸，從而確保精確和可靠的晶圓測量。PROMETRIX AIT I包括一個預先編程的測量策略庫,可用於快速設置和控制檢查軟件。這些策略涵蓋了廣泛的檢查類型,包括關鍵維度（CD）、線寬或放大器。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I提供出色的圖像分辨率和對比度級別,以幫助獲得復雜光學測量的可重復、可靠的結果。總體而言，KLA AIT I是一種精確可靠的晶圓測試和計量設備，具有集成的軟件和硬件解決方案，使用戶能夠實現精確的測量並最大限度地提高半導體晶圓的產量。TENCOR AIT I以其通用的雙軸掃描系統、預編程的測量策略和精確的光學偽像,為高效可靠的晶圓測試提供了一個多功能的解決方案。