二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9221583 待售

ID: 9221583
晶圓大小: 6"-8"
Patterned wafer inspection system, 6"-8" Double darkfield inspection tool SECS II/GEM Communication interface Low contact chuck (AIT I) Multi channel collection optics system with independent Programmable spatial filters Pentium CPU with Windows NT installed Wafer transfer area housing cover Wafer handling module High voltage electronics Front / Rear EMO’s with covers Flat panel display for AIT Fold down keyboard tray with built in mouse X/Y Drive / Controller chassis Motion controller card Blower box (Exhaust hoses not included) Operations manual.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是由KLA Corporation和TENCOR Corporation開發的晶圓測試和計量設備。該系統設計用於制造過程中半導體晶片的高速、精確分析。它是一個自動化晶片檢查和計量裝置,能夠測量晶片的線寬、平整度、覆蓋對齊度和表面拓撲,具有極高的精度和重復性。KLA AIT I使用Total Measurement Software (TMS)和Applications Programming Interface (API)等專有技術來獲得準確且可重復的結果。該機器包含晶圓分析中心(WAC),該中心將TMS和API功能與其他組件(如傳感器和成像頭、網絡數據采集集線器和晶圓處理器)集成在一起。傳感器和成像頭利用電荷耦合器件(CCD)掃描和測量具有不同掃描寬度、采樣密度和測量能力的晶片。網絡數據采集中心從傳感器和成像頭收集和分析數據,以準確生成晶圓特性的全局圖,用於質量控制。晶圓處理程序允許TENCOR AIT I工具移動和引導晶圓精確定位以進行邊緣檢測和測量。Total Measurement Software (TMS)負責控制傳感器和成像頭,顯示收集的數據,並根據需要將測量結果流式傳輸到打印機或計算機。TMS還包含許多線性和非線性近似值,其中包含用於確定晶圓適用性的缺陷度量工具和特征繪圖儀。應用程序編程接口(API)連接到各種第三方系統,如CAD、可視化、數據采集和晶圓制造系統。這使TMS能夠輕松集成到用戶的現有體系結構中。API還允許開發人員在各種環境中創建和開發自定義晶圓分析軟件。總體而言,該資產是一種精確可靠的晶圓測試和計量模型.PROMETRIX AIT I是晶圓質量控制的絕佳選擇。
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