二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9277680 待售

ID: 9277680
晶圓大小: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是領先的晶圓測試和計量設備,它提供尖端的應用和測量工具,以減少測試和測量過程的時間和成本,同時提高結果的質量。該系統包括高度先進的算法來分析不同厚度和形狀的晶片的缺陷和非均勻性。該單元支持各種晶圓計量應用,適用於半導體行業的各個細分領域,如晶圓級工程、工藝開發、後工藝工程、產量優化、器件表征等。KLA AIT I機器支持多種傳統的晶圓計量技術,如焦點變化、步高分析和掃描電子和原子力顯微鏡。它還支持先進的缺陷檢測和分析,包括通過深度、邊緣衍射和CD傳輸的臨界尺寸(CD)蝕刻深度、CD線寬。該工具包括測試頭、計量資產和測量工具三個部分。測試頭是一個機動化的晶片架,設計用來容納多個晶片,允許測量不同設備時精確對準。計量模型包括一套軟件工具,旨在分析、監控和優化流程操作。測量工具是一個先進的CMOS相機,拍攝晶圓的高分辨率圖像,允許精確和詳細的缺陷檢測和分析。TENCOR AIT I設備結合了復雜的圖像分析算法,使其能夠檢測和分析多個晶片上甚至最小的缺陷和均勻性問題。該系統還提供快速的晶圓級對齊和測量過程變化,從而能夠對產品質量和過程優化做出快速而準確的決策。總體而言,AIT I是一個綜合性晶圓測試和計量單元,旨在幫助將成本降至最低並提高效率。通過將高級自動化工具與高性能成像和圖像分析相結合,PROMETRIX AIT I機器使晶圓制造商能夠準確快速地識別缺陷和一致性問題。這有助於他們快速優化流程,以獲得最佳性能和最高質量。
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