二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9379558 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供最大精度和速度,同時為用戶提供高級檢測和過程控制解決方案。該系統是一個集成的光學和機械單元,能夠自動檢查和測試直徑不超過200毫米的晶片。KLA AIT I最有利的特點是能夠提供非常高精度的深度數據。它利用暗場、高強度光和斜面等照明技術的組合,將臨界缺陷精確定位到亞微米級。該機器用途廣泛,能夠檢測各種特征尺寸,如大小、形狀、存在和輪廓。此外,還采用了復雜的算法來精確識別和量化晶片上的缺陷。TENCOR AIT I工具是用專門的軟件編程,為用戶提供自動化的過程控制解決方案。此軟件包旨在為用戶提供增強的檢測能力和數據一致性。它能夠監視流程階段並檢測可能由於特定流程問題而產生的任何缺陷。它還提供動態控制功能,因此用戶可以調整設置以進行流程優化。該資產還為用戶提供了多種高級計量功能。它與一系列晶圓測試和計量探針兼容,包括渦流、接觸光刻、壓力法和聲波振動。它能夠測量各種各樣的特征類型,從很小的納米級特征到微米級。它還能夠迅速發現趨勢並在需要時采取糾正行動。AIT I使用現代圖形用戶界面(GUI)使模型易於使用和導航。這有助於顯著減少操作員培訓時間並提高測試吞吐量。直觀的界面使用戶能夠快速訪問測試結果、排序數據和自定義測試設置。最後,PROMETRIX AIT I是一種理想的晶圓測試和計量設備,適合尋求最高精度和速度的用戶。它結合了自動檢查、高級過程控制和計量功能,使其成為晶圓測試應用的絕佳選擇。
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