二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-500 #293646052 待售

ID: 293646052
Film thickness probe system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500是一種高端晶圓測試和計量解決方案,旨在滿足半導體生產的嚴格需求。KLA FT-500具有先進的自動化和一系列檢查和分析功能,是一種多功能設備,可為半導體制造過程的關鍵方面提供單一解決方案。TENCOR FT-500包括光學檢查、高分辨率成像、基於圖像的模式識別和自動缺陷分類(ADC)功能。這種功能的組合使系統能夠識別和分類晶圓的自動化流程中的潛在缺陷。有了分析整個晶片圖的能力,就有可能發現過程誘導產量和性能的變化。這些數據可用於確定質量差的樣品和有缺陷的零件的根本原因。FT-500還提供了一整套光學計量功能。該單元可以用納米精度測量關鍵模具尺寸、叠加對準和特征的痕跡邊緣。此外,PROMETRIX FT-500還具有特定於計量的成像技術和晶圓映射功能,以評估工藝和材料。KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500具有易於使用的嵌入式機器人處理程序,可支持直徑不超過200毫米的晶片。自動處理程序以每小時400晶圓的速度運行,以實現最大的生產力。此外,該計算機完全可定制,具有多種選項和靈活的配置。最後,KLA FT-500設計可靠高效.作為半導體檢測計量的基礎,提供了快速的生產、可靠的性能和先進的晶圓級缺陷分析。利用這些先進的方法和技術,TENCOR FT-500是半導體生產環境的理想解決方案。
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