二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9105990 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300
ID: 9105990
Non-contact wafer monitor.
KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一款領先的晶圓測試和計量設備。它為晶圓制造提供重要的測量和驗證服務,使其成為半導體生產過程中必不可少的一部分。該系統可以測量、分析、顯示和控制從初始晶片到成品的多個工藝參數。KLA M-Gage 300提供高級晶圓測試和計量功能。它利用其光學散射場顯微鏡(OSM)技術,結合多波長橢圓偏振(MWE)提供臨界維度(CD)計量測量。這為晶圓材料提供了高分辨率的測量,如鋼、有色材料、石英/陶瓷和有機聚合物。該裝置還能夠進行全場高速成像,用於檢查和測量晶片。它使用高級極化模塊(APM)來捕獲晶圓地形的高度詳細的表面圖像,從而實現詳細的缺陷表征。該機器還配備了軟件,可以識別和定位晶片的缺陷,提高精度。TENCOR M-Gage 300還采用了先進的光譜分析技術,為產品優化和表征提供實時數據分析。此工具的高級性能還允許用戶配置資產以實現高通量,並準確測量過程引起的晶圓上的機械應力或應變。PROMETRIX M-Gage 300提供了一整套功能,包括直觀的用戶界面、自動晶圓加載模型和高級計量功能。它設計用於廣泛的生產環境,旨在幫助實現高效、經濟高效的晶圓測試和計量,並具有高精度、準確性和可重復性。這種高性能晶圓測試和計量設備為任何晶圓制造設施提供基本服務。其功能提供了改進產品優化和制造過程控制的高級功能。使用M-Gage 300系統,制造商可以期望提高產量和降低成本,同時滿足按時交付的關鍵要求。
還沒有評論