二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9134678 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種晶圓測試和計量系統,旨在為先進半導體制造中的高級工藝控制提供業界領先的準確性、吞吐量和靈活性。它支持對從預粘合到成品的各種晶片進行非接觸、無損檢測和破壞性樣品測試。KLA M-Gage 300的設計目的是確保所關註的參數保持在可接受的範圍內,從而最大限度地減少因表面粗糙度、步長和電阻率等超出規格的過程而可能出現的問題。該系統具有幾個關鍵組件，包括測量頭，可以配備各種傳感器來測量不同的參數。它還包括一個微處理器控制的順序測試儀，允許復雜的多重體質測試協議在一個測試周期內執行。系統還配備了圖像分析模塊和晶片夾持器，使其能夠精確測量晶片的大小和形狀，以及探針與晶片表面的接觸力。TENCOR M-Gage 300設計用於各種工藝化學，包括自旋、電鍍和蝕刻工藝。它能夠在一個周期內獲得高分辨率的計量數據，而無需復雜的機械對準或設置步驟。PROMETRIX M-Gage 300旨在檢測超出規格的缺陷並提供詳細的過程分析,使其成為設計優化和過程控制的理想解決方案。M-Gage 300在非接觸晶片檢測方面也表現出色，提供亞微米分辨率和低噪聲性能。其先進的成像能力使它能夠檢測各種不同的缺陷，包括顆粒、空隙和線緣粗糙度。此外,它還包括晶片識別功能,確保正在測試正確的晶片。KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300提供多種功能,使其成為高級流程控制的理想選擇,例如低運營成本和用戶友好型操作。其直觀的軟件和全面的數據分析功能使其易於使用和理解,而其靈活性使其能夠適應各種不斷變化的流程要求。所有這些功能使KLA M-Gage 300成為當今先進晶圓測試和計量應用的絕佳選擇。