二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9265331 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300
ID: 9265331
晶圓大小: 6"
優質的: 1992
Metal film thickness meter system, 6" 1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種晶圓測試和計量設備,使用先進的激光幹涉技術和度量來測量跨晶圓的臨界尺寸和特征輪廓。通過提供優越的臨界尺寸測量,系統允許提高產量和降低廢料成本。KLA M-Gage 300的激光幹涉測量單元能夠以納米精度實現卓越的臨界尺寸測量。它的工作原理是在晶圓上發射多個頻率的激光束,然後將其反射回機器的傳感器。通過分析反射光的相位,TENCOR M-Gage 300能夠確定晶片上特征和尺寸的確切位置。M-Gage 300在計量測量方面設計得非常精確可靠,在精度方面提供了充分的可追蹤性。它的無損測量消除了為了測量特征而打破晶片的需要,而雙軸對準工具允許快速晶片加載並增加吞吐量。該資產還設計為易於使用的用戶友好的圖形界面。這允許快速、直觀的操作,以及方便地訪問歷史操作數據。PROMETRIX M-Gage 300還可以連接到其他系統和網絡,從而便於集成和數據共享。最後,該模型具有較長的使用壽命,設計為高能效。它的低維護要求確保它可以在更長的時間內執行穩定的測量。這反過來又有助於降低人力和能源消耗的成本。總體而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種先進且高度精確的晶圓測試和計量設備。其激光幹涉系統和雙軸對準單元提供精確、無破壞性的納米精度測量,而其用戶友好的圖形界面和較長的使用壽命使其使用方便、經濟實惠。
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