二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9412382 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於先進的半導體過程控制和分析。該系統提供從裸片到復雜器件結構的晶片的完整計量，並能夠對半導體工藝產量進行高級測量，如臨界尺寸（CD）、薄膜厚度、電氣性能和更關鍵的數據。該單元包括一個集成的三級真空轉移模塊，用於在多個腔室之間可靠地移動單個晶片。高精度運動機驅動整個過程，並提供X、Y、角度、高度和晶圓大小等廣泛的運動範圍。KLA M-Gage 300采用高分辨率成像和自動化測量,以提供具有可重復性和一致性的準確測試結果。該工具具有高分辨率的光學平臺,具有明場和暗場光學,可捕獲和分析關鍵圖像。大視野成像資產允許大面積測量,這對於設備過程控制至關重要。TENCOR M-Gage 300融合了光學散射法、掃描電子顯微鏡、3D表面輪廓、橢圓偏振法和幹涉測量等一系列先進的計量技術，以測量多種結構的物理和電氣特性。嵌入式軟件處理收集的數據，以確定物理和電氣性能特性，結果以表格形式報告，供進一步分析。該模型設計靈活，適用於儀器自動切換、數據實時分析、高級軟件集成、圖像增強和其他高級計量技術等定制實驗。它提供了一流的數據準確性和可靠性以及可重復性,以滿足領先半導體制造商的要求。該設備還與M-Gage Suite軟件集成，用於高級數據收集、處理和分析。該軟件允許操作員使用其高級算法從收集的數據中快速獲得可行的見解。該系統還采用標準協議來捕獲、傳輸和歸檔數據，以便進一步分析。M-Gage 300是一個先進的晶圓測試和計量單元，旨在滿足領先的半導體制造商的要求，並為他們提供精確可靠的晶圓級工藝控制測量。憑借其高分辨率的成像、自動化的測量、先進的計量和靈活的軟件，操作員一定能實現質量實驗和過程控制。