二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9227292 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA是最先進的晶圓測試和計量設備。它設計用於大型內存和邏輯設備、晶片級和模具級設備。它是一個集成的、高精度的測量系統，結合了光學計量、電氣測試、亮場/暗場成像、掃描電子顯微鏡等幾種測量類型。RS-35CA單元在納米級提供了最大的精度,並為各種測量類型提供了高可重復性,包括電氣數據、光學參數、2-D陣列和相關性。它還為所有缺陷和丘陵缺陷的分離和上漿提供了很好的特征。該機器由一個多物理平臺組成，該平臺結合了光學計量、電氣測試、陰影成像和掃描電子顯微鏡等各種掃描技術，以測量任何特定樣品的確切尺寸和材料組成。該RS-35CA對每個樣品的寬度、深度和高度進行高精度測量，提供三通道光學計量。這是結合了一個命令的交流和直流電氣測試技術，使檢測和表征設備缺陷。該工具還支持用於缺陷隔離和表征的亮場/暗場成像，以及用於分析樣品結構的掃描電子顯微鏡。該RS-35CA還提供了一套全面的應用程序，使其適合各種芯片和晶圓測試應用程序。其中包括：線寬、線緣粗糙度、弓形/碟形測量、步高分析、反射成像、光譜分析和組成成像。此外,資產還支持數據分析、缺陷敏感性分析和面向過程的映射,使流程工程師能夠了解其流程的行為。總體而言，KLA Omnimap RS-35CA模型是一種最先進的晶圓測試和計量設備，它結合了幾種測量技術以獲得準確、可重復和可靠的結果。它能夠為大小內存和邏輯設備提供有關各種設備指標和參數的可靠信息。