二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9243618 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA晶圓測試和計量設備是分析半導體材料工藝參數的可靠而有力的工具。該系統建立在一個模塊化的平臺上，新設計的軟件算法和軟件體系結構。該平臺能夠更快地獲取和分析數據,從而實現更快的決策和周轉。該單元可以處理直徑達8英寸的晶片，工作分辨率高達6,000 x 6,000像素。該機還能測試各種金屬層、氧化物層、多晶矽層。該工具配備了幾個關鍵組件，如以掃描運動布置的多個LED圖樣場外部照明器，一個在單個快照中捕捉圖像的原位彩色CCD相機，一個處理數字圖像的高速信號處理器，以及一個調整樣品高度的高分辨率步進電機。此外,該資產還包括一個用於測試晶片結構的精密機械手和探頭。這些元件被整合到一個高度優化的閉環模型中，可以精確地映射晶圓上的結構。設備不僅能準確表征晶片的工藝參數，系統還能對基板表面缺陷進行檢測。它配備了高分辨率的視覺模塊，捕獲晶圓表面缺陷的圖像。然後,該單元可以準確識別和測量基板表面的任何缺陷,如點蝕、針孔、突起和劃痕。該機還能處理不同類型的不同地形的測試基板。例如,工具可以檢測到表面拓撲結構的差異,並準確識別任何特征,例如臺階、井邊和基板表面的其他結構。此外，該資產還能夠在高度結構化的基板上快速測量層均勻性。該模型可以精確測量厚度、表面粗糙度和汙染的均勻性。綜上所述，KLA Omnimap RS-35CA晶圓測試和計量設備是一種先進、高效的半導體材料測量和檢驗工具。其集成組件，如原位彩色CCD相機、數字圖像處理器、步進電機以及精密機械手和探頭，使系統能夠精確測量和檢查晶圓特性，識別缺陷。因此，該單元是半導體工業的寶貴工具。