二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55C #9362896 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55C是一種綜合性晶圓測試和計量設備,專為高生產率和卓越的質量測量而設計。它具有一整套工藝表征功能，如電阻率、薄膜厚度和摻雜測量，以表征晶片的電學和光學特性。該系統由兩個掃描和計量階段提供動力-一個全自動、半自動和手動測量站,可提供各種晶圓尺寸,範圍從200毫米到300毫米。它還具有高精度的光學測量單元，具有超微米分辨率，用於先進的晶圓表面表征。該RS-55C配有集成的低真空和多氣體開關，用於計量和化學氣相沈積。它還提供了一個內置的校準程序，並附帶了一套標準的第三方測量光學器件。這確保了準確和可重復的測量結果，並有助於確保所有測量參數都在嚴格的計量標準之內。此外，該機還提供先進的光聲檢測，用於測量微觀特征和結構在晶片表面上的位置，以進行高度精確的處理。它還提供了與LabVIEW等軟件的集成以及直觀的圖形用戶界面,以便於控制和監視。這有助於簡化計量和測量操作,並確保精確、可重復的結果。總體而言,KLA Omnimap RS-55C提供了一套豐富的高級功能,專為卓越可靠的晶圓測試和計量而設計。其高精度的光學平臺和最先進的軟件使其成為晶圓屬性高精度測量的絕佳選擇。