二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9182565 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是先進的晶圓測試和計量設備，KLA Corporation的產品。該系統提供了一整套功能,用於檢查和平滑最復雜的IC設備。Omnimap采用自上而下的自動化檢查方法,它利用高精度光學、高級探測器、照明系統和專用算法來精確、重復地在芯片上找到最微小的特征。Omnimap技術是圍繞經過科學驗證、半導體特定的應用而構建的，允許IC設計師在多個光刻工藝和電路架構中使用。該單元具有兩個獨特的組件：一個8英寸的基於地圖的自動計量工具，以及TENCOR曝光機。這兩項創新技術的結合提供了精確和可重復的計量測量和精確的巖石調諧控制。8英寸自動地圖工具執行雙光束顯微鏡，以準確評估晶圓的整個表面，包括其邊緣。資產還評估CD均勻性（CDU）、襯裏錯誤、抗填充、側壁角度、存在虛擬模式、掃描儀設置和曝光參數。這樣可以對曝光過程進行詳細調整,確保對光刻過程進行準確的控制和優化。PROMETRIX曝光模型使設備能夠在執行在線計量的同時調整過程參數,從而實現「晶圓到晶圓」一致性和提高設備性能。該系統還采用專有的焦平面陣列（FPA）應變計技術，提供了一種小體積的無損晶圓計量方法。此外,激光掃描單元（LSS）還提供了跨測試晶圓的高速掃描功能,使用戶能夠就曝光參數調整做出實時決策。KLA OMNIMAP RS-55/TC提供了對半導體的綜合和全面評估，使得IC制造能夠不斷取得進展。這臺機器允許對晶片進行精確、可重復的計量和平整，確保設備性能，並為制造商提供生產最佳IC所需的參數。由於其先進的技術和廣泛的能力，TENCOR OMNIMAP RS-55T/C被認為是晶圓測試和計量領域的首要工具。