二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9194017 待售
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ID: 9194017
晶圓大小: 8"
Four point probe resistivity mapping system, 8"
Manual wafer handling
Provides contour maps
3-D Plots
Diameter scans
Sheet resistance measurements
Ambient temperature and materials
Temperature Compensation (TC):
Temperature variations
Impact sheet
Resistance measurements: 1% / Degree
Temperature variations
Dramatic effect
Long-term repeatability
Accuracy
System-to-system matching
Power supply: 115 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是一種高端晶圓測試和計量設備,用於解決半導體測試中的粘附、表面和平坦度問題。它主要用於制造各種應用的微芯片。該系統利用正在申請專利的多反射抑制(MRS)光學器件為低對比度樣品提供優越的圖像。這用於測量晶圓曲面的厚度、寬度、深度和平坦度等材料屬性。它還具有在整個測試過程中保持圖像焦點的動態聚焦驅動器,以及一個綜合診斷單元(IDS),用於在進行測量之前監視和校準成像和計量系統。KLA OMNIMAP RS-55/TC的其他功能包括一臺能夠安裝、加載和卸載晶片以進行測試的自動晶片處理機,以及一臺高分辨率的5百萬像素MISA™成像工具和panaromic透鏡。它還具有用於快速獲取測試圖像的雙光束顯像儀,以及用於監視和調整任何過程變量的過程控制資產。該模型還被設計為在電子光學的幫助下提供準確可靠的測試結果,具有極好的重復性和重復性。它具有自動對準功能,可以在測試時快速準確地補償舞臺俯仰、側傾和偏航。它還具有許多用戶友好的功能,例如直觀的圖形用戶界面(GUI)和訪問蓋,使技術人員更容易接觸和調整組件以進行測試。除了上述功能外,TENCOR OMNIMAP RS-55T/C設備還有一種低成本的替代激光計量。它還提供了高收率和良好的信噪比,為快速和可靠的結果。該系統提供卓越的性能和精確度,能輕松經受住半導體行業的嚴謹和要求。它還考慮到安全性和兼容性,並且與當今大多數標準微芯片兼容。
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