二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9263096 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是一種晶圓測試和計量設備,旨在對包括半導體器件在內的多種材料進行精確、可重復的測量。該RS-55TC具有強大的光學顯微鏡，能夠對設備特性進行高分辨率測量，並能夠檢測和分析缺陷。RS-55TC的平臺包括一個大而穩定的階段，具有高分辨率、X-Y-Z掃描系統和一個高分辨率、旋轉掃描階段，用於晶圓模具、微盤和其他基板的非接觸測量。此外，該單元還配備了精密的樣品定位機，允許精確對準和定位探頭點。該RS-55TC利用先進的激光幹涉測量工具,以前所未有的30納米精度測量表面異常,並能夠測量臨界參數,如薄膜厚度、步長偏差和線寬變化。RS-55TC資產具有內置的智能診斷功能,能夠可靠地檢測潛在的異常值和故障組件,並確保測試晶片的高收益率。該模型包括用於數據采集、分析和報告的集成軟件,為計量和性能保證提供了擴展功能。這些設備可與其他科軍系統配合使用，以提高監測能力，並與其他控制系統掛鉤，以實現最終的靈活性和全面的自動化過程控制。KLA OMNIMAP RS-55/TC是一個先進的晶圓測試和計量系統，為測量器件特征和分析缺陷提供了無與倫比的準確性和可重復性。其靈活的平臺，加上其集成的軟件，為用戶提供了一個全面的測試、測量和數據收集單元，所有這些都是過程優化和性能保證的必要前提。